商品明細

製程有毒氣體偵測器

  • 型號:SI-H100
  • 廠牌:SENKO
  • 特點介紹:
    · 可偵測超過70種氣體。
    · 智慧型探頭卡匣,附工作狀態指示燈。
    · 90dB警報聲。
    · 可檢測ppb等級的氣體。
    · 4-20 mA類比輸出和故障與事件記錄。

商品詳細介紹Product Introduction

SI-H100製程有毒氣體偵測器

SI-H100可偵測半導體、光電及其他行業製程中常用的多種氣體,為用戶提供完整的氣體偵測方案。特點為探頭校正週期較長,輸出與通訊介面完整,智慧型探頭卡匣與取樣幫浦流量調整功能等。其熱插拔式智慧型探頭卡匣於出廠時已預先校正完成,可隨插即用,更換探頭不需要任何工具,極為簡便,可避免人為錯誤,誤裝失效的探頭。LED燈搭配直覺圖像式互動液晶顯示幕,提供即時氣體讀值與警報警示圖示,清晰易懂,搭配密碼保護設定的測試和校正參數。
偵測器體積小適合安裝於狹小的製程環境中,提供有彈性的供電方式和輸出選擇。標準輸出包含3個警報繼電器輸出,4-20mA類比輸出,Modbus/TCP乙太網數位輸出。此外還提供創新的乙太網供電協定(Power over Ethernet, PoE),只需要一條乙太網路線,即可完成供電、控制和通訊的需求,還可以經由網頁瀏覽器在電腦上檢視各種偵測器數據。SI-H100提供了高性價比的氣體偵測解決方案,可與PLC與各種監控系統整合。內置取樣幫浦,可監測30米(100呎)外的大氣狀況,具有流量自動調整功能,確保偵測無誤。選購的Pyrolyzer熱裂解模組可用以偵測NF3、C4F6、 C4H2F6、C5F8 與CH3F等氣體。

 
可選氣體種類,共71種氣體,依化學式字母順序排列。
砷化氫AsH3 乙硼烷B2H6 三氯化硼BCl3 雙二乙氨基矽烷C8H22N2Si
三氟化硼BF3 雙(叔丁基氨基)矽烷BTBAS 乙炔C2H2 乙烯C2H4
乙烷C2H6 六氟丁二烯C4F6 六氟異丁烯C4H2F6 八氟環戊烯C5F8
己烯C6H12 辛烷C8H18 二氟甲烷CH2F2 氟甲烷CH3F
甲醇CH3OH 甲烷CH4 (觸媒燃燒) 甲烷CH4 (紅外線) 氯氣Cl2
三氟化氯ClF3 一氧化碳CO 硫化羰COS 吡啶C5H5N
環戊二烯基三(二甲氨基)鋯CP-ZR(ZAC) 二氯乙烷DCE 二氯矽烷DCS 氟氣F2
四氟化鍺GeF4 鍺烷GeH4 氫(PPM)H2 氫氣(%LEL)H2
溴化氫HBr 六氯乙矽烷HCDS / Si2Cl6 氯化氫HCl 氟化氫HF
氰化氫HCN 六甲基二矽氮烷HMDS / H6H19NSi2 丙二氨基]雙二甲氨基鉿LTHS-1 三氟化氮NF3
氨氣NF3 一氧化氮NO 臭氧O3 正丙基環戊二烯基三(二甲氨基)鋯PCp-ZR/ (nPrCp)Zr
磷化氫PH3 三(二甲基氨基)環戊二烯基鉿11H23N3Hf 三乙胺RENA, TEA / C6H15N 四氯化矽SiCl4
矽烷SiH4 二氟矽烷SiHf2 三氯乙酸TCA / C2H3Cl3 四(二甲氨基)矽烷3DMAS(TDMAS)
四(二甲氨基)鈦TDMAT/ C8H24N4Ti 三乙硼烷TEB/ (CH3CH2)3B 四乙氧基矽烷TEOS/ SiC8H20O4 磷酸三乙酯TEPO(Precursor)
烷基矽烷胺Thalassa 四氯化鈦TiCl4 三甲基鋁TMA(AL(CH3)3) 硼酸三甲酯TMB / C3H9BO3
三甲基矽烷TMS / C3H10OSi 六氟化鎢WF6 四甲基矽烷4MS (Precursor) 氧氣O2
硫化氫H2S 二氧化硫SO2 二氧化氮NO2 丙烷(觸媒燃燒式)C3H8
丙烷(紅外線)C3H8 揮發性有機化合物VOC 笑氣N2O 二氧化碳(紅外線)CO2

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