可選氣體種類,共71種氣體,依化學式字母順序排列。 |
砷化氫
AsH3 |
乙硼烷
B2H6 |
三氯化硼
BCl3 |
雙二乙氨基矽烷
C8H22N2Si |
三氟化硼
BF3 |
雙(叔丁基氨基)矽烷
BTBAS |
乙炔
C2H2 |
乙烯
C2H4 |
乙烷
C2H6 |
六氟丁二烯
C4F6 |
六氟異丁烯
C4H2F6 |
八氟環戊烯
C5F8 |
己烯
C6H12 |
辛烷
C8H18 |
二氟甲烷
CH2F2 |
氟甲烷
CH3F |
甲醇
CH3OH |
甲烷
CH4 (觸媒燃燒) |
甲烷
CH4 (紅外線) |
氯氣
Cl2 |
三氟化氯
ClF3 |
一氧化碳
CO |
硫化羰
COS |
吡啶
C5H5N |
環戊二烯基三(二甲氨基)鋯
CP-ZR(ZAC) |
二氯乙烷
DCE |
二氯矽烷
DCS |
氟氣
F2 |
四氟化鍺
GeF4 |
鍺烷
GeH4 |
氫(PPM)
H2 |
氫氣(%LEL)
H2 |
溴化氫
HBr |
六氯乙矽烷
HCDS / Si2Cl6 |
氯化氫
HCl |
氟化氫
HF |
氰化氫
HCN |
六甲基二矽氮烷
HMDS / H6H19NSi2 |
丙二氨基]雙二甲氨基鉿
LTHS-1 |
三氟化氮
NF3 |
氨氣
NF3 |
一氧化氮
NO |
臭氧
O3 |
正丙基環戊二烯基三
(二甲氨基)鋯
PCp-ZR/ (nPrCp)Zr |
磷化氫
PH3 |
三(二甲基氨基)環戊二烯基鉿
11H23N3Hf |
三乙胺
RENA, TEA / C6H15N |
四氯化矽
SiCl4 |
矽烷
SiH4 |
二氟矽烷
SiHf2 |
三氯乙酸
TCA / C2H3Cl3 |
四(二甲氨基)矽烷
3DMAS(TDMAS) |
四(二甲氨基)鈦
TDMAT/ C8H24N4Ti |
三乙硼烷
TEB/ (CH3CH2)3B |
四乙氧基矽烷
TEOS/ SiC8H20O4 |
磷酸三乙酯
TEPO(Precursor) |
烷基矽烷胺
Thalassa |
四氯化鈦
TiCl4 |
三甲基鋁
TMA(AL(CH3)3) |
硼酸三甲酯
TMB / C3H9BO3 |
三甲基矽烷
TMS / C3H10OSi |
六氟化鎢
WF6 |
四甲基矽烷
4MS (Precursor) |
氧氣
O2 |
硫化氫
H2S |
二氧化硫
SO2 |
二氧化氮
NO2 |
丙烷(觸媒燃燒式)
C3H8 |
丙烷(紅外線)
C3H8 |
揮發性有機化合物
VOC |
笑氣
N2O |
二氧化碳(紅外線)
CO2 |