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SI-H100 製程有毒氣體偵測器
型號:SI-H100
廠牌:SENKO
特點介紹:
· 可偵測超過70種氣體。
· 智慧型探頭卡匣,附工作狀態指示燈。
· 90dB警報聲。
· 可檢測ppb等級的氣體。
· 4-20 mA類比輸出和故障與事件記錄。
商品詳細介紹
Product Introduction
SI-H100製程有毒氣體偵測器
SI-H100可偵測半導體、光電及其他行業製程中常用的多種氣體,為用戶提供完整的氣體偵測方案。特點為探頭校正週期較長,輸出與通訊介面完整,智慧型探頭卡匣與取樣幫浦流量調整功能等。其熱插拔式智慧型探頭卡匣於出廠時已預先校正完成,可隨插即用,更換探頭不需要任何工具,極為簡便,可避免人為錯誤,誤裝失效的探頭。LED燈搭配直覺圖像式互動液晶顯示幕,提供即時氣體讀值與警報警示圖示,清晰易懂,搭配密碼保護設定的測試和校正參數。
偵測器體積小適合安裝於狹小的製程環境中,提供有彈性的供電方式和輸出選擇。標準輸出包含3個警報繼電器輸出,4-20mA類比輸出,Modbus/TCP乙太網數位輸出。此外還提供創新的乙太網供電協定(Power over Ethernet, PoE),只需要一條乙太網路線,即可完成供電、控制和通訊的需求,還可以經由網頁瀏覽器在電腦上檢視各種偵測器數據。SI-H100提供了高性價比的氣體偵測解決方案,可與PLC與各種監控系統整合。內置取樣幫浦,可監測30米(100呎)外的大氣狀況,具有流量自動調整功能,確保偵測無誤。選購的Pyrolyzer熱裂解模組可用以偵測NF3、C4F6、 C4H2F6、C5F8 與CH3F等氣體。
可選氣體種類,共
71
種氣體,依化學式字母順序排列。
砷化氫
AsH3
乙硼烷
B2H6
三氯化硼
BCl3
雙二乙氨基矽烷C8H22N2Si
三氟化硼
BF3
雙(叔丁基氨基)矽烷BTBAS
乙炔
C2H2
乙烯
C2H4
乙烷
C2H6
六氟丁二烯
C4F6
六氟異丁烯
C4H2F6
八氟環戊烯
C5F8
己烯
C6H12
辛烷
C8H18
二氟甲烷
CH2F2
氟甲烷
CH3F
甲醇
CH3OH
甲烷
CH4 (觸媒燃燒)
甲烷
CH4 (紅外線)
氯氣
Cl2
三氟化氯
ClF3
一氧化碳
CO
硫化羰
COS
吡啶
C5H5N
環戊二烯基三(二甲氨基)鋯CP-ZR(ZAC)
二氯乙烷
DCE
二氯矽烷
DCS
氟氣
F2
四氟化鍺
GeF4
鍺烷
GeH4
氫(PPM)
H2
氫氣(%LEL)
H2
溴化氫
HBr
六氯乙矽烷
HCDS / Si2Cl6
氯化氫
HCl
氟化氫
HF
氰化氫
HCN
六甲基二矽氮烷
HMDS / H6H19NSi2
丙二氨基]雙二甲氨基鉿LTHS-1
三氟化氮
NF3
氨氣
NF3
一氧化氮
NO
臭氧
O3
正丙基環戊二烯基三
(二甲氨基)鋯
PCp-ZR/ (nPrCp)Zr
磷化氫
PH3
三(二甲基氨基)環戊二烯基鉿
11H23N3Hf
三乙胺
RENA, TEA / C6H15N
四氯化矽
SiCl4
矽烷
SiH4
二氟矽烷
SiHf2
三氯乙酸
TCA / C2H3Cl3
四(二甲氨基)矽烷
3DMAS(TDMAS)
四(二甲氨基)鈦TDMAT/ C8H24N4Ti
三乙硼烷
TEB
/
(CH3CH2)3B
四乙氧基矽烷
TEOS/ SiC8H20O4
磷酸三乙酯
TEPO(Precursor)
烷基矽烷胺
Thalassa
四氯化鈦
TiCl4
三甲基鋁
TMA(AL(CH3)3)
硼酸三甲酯
TMB / C3H9BO3
三甲基矽烷
TMS / C3H10OSi
六氟化鎢
WF6
四甲基矽烷
4MS (Precursor)
氧氣
O2
硫化氫
H2S
二氧化硫
SO2
二氧化氮
NO2
丙烷(觸媒燃燒式)
C3H8
丙烷(紅外線)
C3H8
揮發性有機化合物
VOC
笑氣
N2O
二氧化碳(紅外線)
CO2
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